Особенности

Применение

Технические характеристики

Дополнительные устройства

• устройство для отвода и нейтрализации газов;
• устройство продувки камеры инертным газом;
• система охлаждения подаваемых газов;
• газовая ловушка;
• безопасная комплектация для работы в водородной атмосфере;
• PID-контроллер: 15 контролируемых зон, 64 цифровых дорожек, 99 программ с 50 шагами каждая, 100 параметров оповещения, 20 допусков, 20 предельных допустимых значений, SPC Hardware, RS 232, Ethernet.

Видео

Комплектация